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质量流量计

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 热 式 质 量 流 量 计 和 控 制 器 ： 5 m g / h 1 k g / h 科 里 奥 利 质 量 流 量 计 和 控 制 器 ： 5 0 m g / h   6 0 0 k g / h 超 声 波 技 术 体 积 流 量 计 和 控 制 器 ： 2 m l / m i n   1 5 0 0 m l / m i n 基 于 涡 街 、 电 磁 和 超 声 波 工 作 原 理 的 仪 表 ， 高 达   2 5 0 l / m i n 液 体 源 汽 化 系 统 C E M （ 液 体 源 汽 化 ） 系 统 是 创 新 的 蒸 汽 流 量 控 制 解 决 方 案 ， 由 液 体 流 量 控 制 器 、 载 气 质 量 流 量 控 制 器 和 温 控 混 合 蒸 发 装 置 组 成 。 
 基 于 该 C E M 技 术 ， B r o n k h o r s t 设 计 了 集 成 的 蒸 汽 输 送 系 统 ， 包 括 读 数 / 控 制 和 现 场 总 线 功 能 。 
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 解 决 方 案 小 组 致 力 于 帮 助 终 端 用 户 找 到 客 户 满 意 的 定 制 流 程 配 置 。 
 B l o g 1 9 0 6 2 0 2 4 关 于 液 体 定 量 给 料 的 1 0 大 常 见 问 题 流 量 计 结 合 定 量 给 料 泵 ✓ 泵 控 制 ✓ 小 流 量 B l o g 1 1 1 1 2 0 2 4 锂 电 池 负 极 制 造 | 流 量 控 制 器 应 用 案 例   锂 电 池 负 极 制 造 | 流 量 控 制 器 在 锂 电 池 硅 / 碳 负 极 的 制 造 过 程 中 ， B r o n k h o r s t 热 式 气 体 质 量 流 量 控 制 器 控 制 气 体 原 材 料 供 应 ， 助 力 优 化 电 池 寿 命 和 容 量 。 
 锂 电 池 就 在 我 们 身 边 ： 智 能 手 机 、 平 板 电 脑 ， 以 及 电 动 汽 车 和 电 动 自 行 车 等 。 
 负 极 和 正 极 ， 以 及 所 用 材 料 ， 在 很 大 程 度 上 决 定 了 电 池 的 容 量 。 
 石 墨 形 式 的 碳 一 直 是 锂 电 池 的 主 力 负 极 材 料 。 
 然 而 ， 与 碳 相 比 ， 可 用 于 更 多 锂 离 子 的 硅 正 逐 渐 崭 露 头 角 。 
 硅 负 极 在 充 电 或 放 电 时 膨 胀 和 收 缩 比 石 墨 更 脆 弱 。 
 为 了 结 合 两 种 材 料 的 良 好 性 能 ， 作 为 负 极 材 料 的 硅 / 碳 复 合 材 料 备 受 关 注 ， 并 且 正 在 开 发 中 。 
 B r o n k h o r s t 仪 表 应 用 于 中 国 佛 山 负 极 制 造 商 的 硅 / 碳 复 合 负 极 制 造 过 程 中 。 
 应 用 要 求 用 于 硅 / 碳 复 合 负 极 制 造 的 化 学 气 相 沉 积 （ C V D ） 工 艺 需 对 前 驱 体 供 应 进 行 优 化 控 制 。 
 特 别 需 对 硅 烷 前 驱 体 进 行 准 确 的 流 量 控 制 ， 满 量 程 精 度 通 常 为 1 % 。 
 准 确 性 随 时 间 推 移 需 保 持 ， 因 此 可 重 复 性 也 很 重 要 。 
 需 特 别 注 意 硅 烷 的 高 反 应 性 。 
 重 要 议 题 更 好 地 控 制 C V D 工 艺 ， 工 艺 更 可 靠 高 精 度 和 可 重 复 性 ， 尤 其 是 硅 前 驱 体 硅 烷 流 量 易 于 放 大 ， 灵 活 性 高 工 艺 方 案 在 硅 / 碳 复 合 负 极 制 造 的 C V D 工 艺 中 ， 硅 烷 ( S i H 4 ) , 氮 气 ( N 2 ) 和 乙 炔 ( C 2 H 2 ) 等 气 态 化 合 物 被 供 应 到 加 热 的 反 应 器 中 ， 与 固 体 硅 和 碳 化 合 物 反 应 ， 化 合 物 作 为 复 合 材 料 沉 积 在 多 孔 碳 基 材 中 。 
 B r o n k h o r s t E L F L O W 热 式 质 量 流 量 控 制 器 用 于 该 前 驱 体 供 应 ， 经 校 准 以 适 应 前 驱 体 类 型 和 流 量 范 围 。 
 准 确 性 是 控 制 C V D 过 程 的 重 要 条 件 。 
 E L F L O W 系 列 基 于 热 式 原 理 允 许 准 确 供 应 前 驱 体 ， 特 别 是 作 为 主 要 前 驱 体 的 硅 烷 。 
 前 驱 体 的 热 性 能 与 其 质 量 之 间 存 在 直 接 关 系 。 
 方 案 优 势 是 质 量 流 量 受 到 控 制 ， 不 受 温 度 或 压 力 变 化 等 工 艺 条 件 波 动 影 响 。 
 B r o n k h o r s t 在 使 用 硅 烷 作 为 前 驱 体 方 面 积 累 了 丰 富 的 经 验 ， 例 如 在 光 伏 （ 太 阳 能 电 池 ） 市 场 。 
 由 于 它 具 有 高 度 反 应 性 且 易 燃 ， E L F L O W 质 量 流 量 控 制 器 可 安 全 处 理 此 类 有 害 化 合 物 。 
 例 如 ， 如 果 高 反 应 性 硅 烷 源 受 到 少 量 水 和 空 气 的 污 染 ， 则 硅 烷 流 中 会 形 成 微 小 的 二 氧 化 硅 ( S i O 2 ) 颗 粒 。 
 可 使 用 过 滤 器 等 措 施 防 止 质 量 流 量 控 制 器 的 内 部 堵 塞 。 
 B r o n k h o r s t 仪 表 具 有 良 好 的 泄 漏 完 整 性 可 防 止 空 气 ( O 2 ) 从 外 部 泄 漏 到 硅 烷 流 中 。 
 由 于 精 度 是 该 应 用 的 关 键 ， 因 此 基 于 热 式 原 理 的 B r o n k h o r s t E L F L O W 仪 表 用 于 前 驱 体 质 量 供 应 优 于 差 压 流 量 控 制 。 
 后 者 的 精 度 受 零 点 漂 移 影 响 ， 尤 其 是 当 传 感 器 内 部 产 生 粉 末 颗 粒 时 。 
 如 果 您 需 要 更 坚 固 的 质 量 流 量 控 制 器 用 于 此 应 用 ， 还 可 使 用 采 用 类 似 热 式 流 量 控 制 原 理 的 M A S S S T R E A M 仪 表 ， 精 度 为 满 量 程 的 1 % 。 
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 分 析 市 场 微 量 元 素 分 析 生 物 工 艺 和 生 物 反 应 器 化 学 、 塑 料 、 金 属 和 玻 璃 工 业 可 再 生 能 源 半 导 体 和 L E D 照 明 产 业 食 品 、 饮 料 和 制 药 医 疗 、 健 康 和 个 人 护 理 石 油 和 天 燃 气 表 面 技 术 水 处 理 更 多 应 用 专 注 小 流 量 测 控 B r o n k h o r s t 总 部 位 于 荷 兰 的 R u u r l o 小 镇 ， 在 全 球 拥 有 5 0 0 多 名 员 工 ， 专 注 于 小 流 量 测 控 领 域 。 
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